ALD用液化超纯臭氧发生器（日本meiden）

ALD用液化超纯臭氧发生器（日本meiden）

    Meiden纯臭氧发生器是液化和储存臭氧气体并连续供应高纯度臭氧气体的装置。由于高纯度的臭氧水平，它可以用作半导体工艺中的氧自由基产生源。为了安全起见，本机具有足够的安全措施。

   •紧急情况下的防爆设计

   •在停电或异常情况下，它可以通过故障安全系统控制温度和压力。

   •符合国际安全标准SEMI-S2，UL，NFPA，CE等

   •对于防止气体泄漏的安全级别，已通过第三方认证机构的示踪气体测试证明。

特征：

   •将臭氧生成装置产生的臭氧气体极度低温液化后，生成100%浓度臭氧

   •可以持续供给100%浓度臭氧

* 1 ： 标准状态下（０℃、１气压）换算的臭氧气体体积

* 2 ： 标准臭氧气体换算 

* 3 ： 最大供给能力下的臭氧供给时间 

* 4 ： 反应室内如不是负压，臭氧生成将会被停止 

* 5 ： 液体臭氧如不能保持安全性，紧急将其排除（气化，稀释，分解，排出）

* 6 ： 连续运转时自动去除臭氧反应室中积蓄的不纯物

* 7 ： 只有在装置停止时清洗臭氧反应室

* 8 ： 装置运转中清洗臭氧反应室

* 9 ： 为了维修保养，建议每隔5天停止装置进行清洗

应用：高品质金属氧化物薄膜成长

效果

•利用纯臭氧作为氧气源可以形成高品质的金属氧化物薄膜。

•利用纯臭氧作为氧气源的优越性得到国际认知。