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专注臭氧系统 20 年,服务半导体先进制造

北京同林科技有限公司专注臭氧系统 20 年,为半导体、ALD、PLD、MBE、CVD 等先进制造场景提供高浓度臭氧发生器、臭氧气体分析仪、溶解臭氧分析仪与臭氧水机,并可承接进口臭氧设备维修与选型配套。

北京同林科技有限公司厂区

公司简介

北京同林科技有限公司专注臭氧系统 20 年,围绕高浓度臭氧的制备、检测、输送与尾气处理提供成套设备与工程配套。产品线覆盖臭氧发生器、臭氧水发生器、臭氧气体分析仪、溶解臭氧分析仪、臭氧尾气分解器,以及水质分析仪、氧气分析仪与陶瓷板管路阀门等配套部件。

公司面向半导体与先进制造场景,为原子层沉积(ALD)、脉冲激光沉积(PLD)、分子束外延(MBE)、化学气相沉积(CVD)、晶片清洗、超纯水与实验室研究等工艺提供臭氧源与浓度监测方案;同时承接 AbsoluteOzone、MKS、Ebara Jitsugyo 荏原、Teledyne API、BMT 等进口臭氧设备与检测仪的维修、校准与备件更换。

核心优势

20 年臭氧系统经验

长期聚焦臭氧发生与浓度监测,熟悉半导体、光伏、水处理与实验室现场的工艺要求与运行习惯。

高浓度臭氧源能力

覆盖从实验室小试到产线配套的臭氧发生器,可按浓度、流量、气源与接口条件匹配机型。

技术路线覆盖广

石英放电、板式与管式发生器等主流技术路线均有对应产品,兼顾电子级应用与工业级用量。

浓度可验证

配套紫外法臭氧分析仪与溶解臭氧分析仪,把工艺条件转化为可测量、可记录的运行数据。

进口设备维修

覆盖 6 类进口品牌发生器与检测仪的检修、校准与备件更换,减少整机更换带来的等待与成本。

工程配套完整

除设备本身,还可提供耐臭氧管路、接头、阀门、减压器与尾气分解等配套,减少多方对接。

研发与制造能力

公司围绕放电单元、电源与控制、气路系统三个环节形成自主技术积累:放电单元覆盖石英管式与陶瓷板式结构;电源与控制系统支持浓度与流量的稳定输出与在线调节;气路部分针对臭氧的强氧化性选用兼容材质,降低长期运行中的腐蚀与泄漏风险。

在产品验证环节,公司以紫外吸收法臭氧分析仪作为浓度基准,对出厂设备进行浓度与稳定性测试,测试记录随设备交付,便于用户复核与工艺留档。

  • 臭氧发生器:从实验室小流量机型到产线配套机型
  • 浓度监测:臭氧气体分析仪、溶解臭氧分析仪
  • 配套部件:陶瓷板、不锈钢管路、接头、阀门与减压器
  • 尾气处理:臭氧尾气分解器与相关配套

产品与服务体系

公司以“选型—交付—验证—维护”为主线提供服务。选型阶段由工程师根据浓度、流量、气源与安装空间给出机型建议;交付阶段提供安装与调试支持;验证阶段以浓度与稳定性测试确认设备状态;维护阶段提供备件供应与进口设备维修,帮助用户延长设备服役周期。

合作客户

公司设备与服务已在半导体企业、高校与科研院所的工艺现场长期运行,客户包括中国科学院、清华大学、北京大学、深圳技术大学、中科艾科米、元素真空、致真精密仪器、众能光电科技、鹏举半导体、同芯构、VMET、CSIC、SRI 思锐智能、CORNING、安徽连续流技术、博涛热工等。上述单位覆盖薄膜沉积、晶片清洗、超纯水与材料研究等方向,对臭氧浓度与稳定性有明确要求。

联系我们

公司名称 北京同林科技有限公司

电话 010-82461830

邮箱 sale2@bjtonglin.com

地址 北京市海淀区SOCO公社

如需臭氧源选型、浓度监测方案或进口设备维修,可提供工艺条件与设备型号,我们的工程师会在 1 个工作日内答复。

ALD、CVD、PLD、MBE臭氧解决方案 ALD、CVD、PLD、MBE臭氧解决方案

按工艺浓度、流量与气源条件匹配臭氧源,从实验室小试到产线配套。

20年臭氧应用经验 20 年臭氧应用经验

长期服务半导体、光伏、水处理与实验室现场,熟悉运行与维护要求。

众多半导体企业使用经验 众多半导体企业使用经验

设备已在半导体企业、高校与科研院所的薄膜沉积与晶片清洗现场长期运行。

加拿大Absolute官方授权商 加拿大 Absolute 官方授权商

进口臭氧设备与检测仪的维修、校准与备件支持,覆盖 6 类主流品牌。

Clients 合作客户

设备与服务已在半导体企业、高校与科研院所的工艺现场长期运行,覆盖薄膜沉积、晶片清洗、超纯水与材料研究等方向。

中国科学院
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深圳技术大学
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