某研究所PLD配套风冷式高浓度臭氧源案例

802N臭氧发生器+3S-J5000臭氧检测仪

某研究所为开展薄膜沉积材料相关科研研究，采购德国802N臭氧发生器搭配北京同林3S-J5000臭氧检测仪搭建实验系统，整套设备采用风冷散热方式，无需外接冷却水，适配实验室简易安装工况。项目核心工艺要求臭氧浓度稳定维持在200mg/L，为薄膜沉积氧化反应提供标准高浓度臭氧氛围。设备调试完成后，风冷机组运行稳定，无温升异常，臭氧输出浓度恒定达标。搭配3S-J5000实时在线监测，浓度数据精准可溯源，有效保障薄膜沉积实验的稳定性与可复现性，完全满足科研使用标准。