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M1000高纯度臭氧源ALD测试现场

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M1000高纯度臭氧源ALD测试现场

2026-03-09 案例展示 次浏览

M1000高纯度臭氧源测试现场

M1000高纯度臭氧源ALD测试现场(图1)


M1000 高精度臭氧发生器,采用进口双层石英电晕放电核心,不析出金属离子,配合10 档旋钮式浓度精密控制系统, 可重复的实验条件、 可长期稳定运行的臭氧源。臭氧浓度可调范围从3mg/L-120mg/L,很容易实现0.1-1%wt臭氧浓度。适合作为ALD,PLD臭氧源。

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