M1000高纯度臭氧源ALD测试现场
M1000高纯度臭氧源测试现场

M1000 高精度臭氧发生器,采用进口双层石英电晕放电核心,不析出金属离子,配合10 档旋钮式浓度精密控制系统, 可重复的实验条件、 可长期稳定运行的臭氧源。臭氧浓度可调范围从3mg/L-120mg/L,很容易实现0.1-1%wt臭氧浓度。适合作为ALD,PLD臭氧源。
M1000高纯度臭氧源测试现场

M1000 高精度臭氧发生器,采用进口双层石英电晕放电核心,不析出金属离子,配合10 档旋钮式浓度精密控制系统, 可重复的实验条件、 可长期稳定运行的臭氧源。臭氧浓度可调范围从3mg/L-120mg/L,很容易实现0.1-1%wt臭氧浓度。适合作为ALD,PLD臭氧源。