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3S-B20臭氧发生器系统采用模块化臭氧生成技术,集成臭氧在线检测仪,电子质量流量计,提供精确的高浓度臭氧。

液化超纯臭氧发生器是液化和储存臭氧气体并连续供应高纯度臭氧气体的装置。由于高纯度的臭氧水平，它可以用作半导体工艺中的氧自由基产生源。臭氧浓度超90%。为了安全起见，本机具有足够的安全措施。

测量原理：紫外吸收法；测量方法：连续测量；可在以下测量范围中选择0 ~ 5 0 ~ 10 0 ~ 20, 0 ~ 30 0 ~ 50, 0 ~ 60, 0 ~ 100 mg / L。

3S-J5000臭氧分析仪依据朗伯—比尔定律，通过测量臭氧对紫外光吸收前后的光信号强度变化，计算出当前臭氧浓度值。设备使用双光路紫外光源系统，可设置自动或手动校零，根据测量时长，可设置自动校零时间。

Micro臭氧发生器产生高达15克/小时的臭氧，尺寸为127*127*355.6mm，体积小，适合集成到ALD设备中。

同林 3S-J1000臭氧水浓度检测仪是紫外线光度直接测量超纯水或恒定浊度水的臭氧含量。可定制版本为3S-J1000-HF可用于20%的氢氟酸臭氧水溶液。

加拿大Absolute Ozone Apex H30臭氧发生器，臭氧浓度高达16％wt，更高可达22%。需掺氮气。Atlas P30可达200mg/L，无需掺氮气。，可达22%。用于ALD\PLD\MBE\半导体\科研。

该款臭氧发生器采用双石英电晕放电技术，以满足超纯净和高浓度的臭氧需求，避免、减少金属污染及析出；特别适合光伏行业太阳能电池生产车间用抗PID臭氧发生器。