
优点
iOzone™诊断/控制系统
旨在防止安装或使用问题,如不正确的气体压力,高环境温度,回水,接线/电压问题等。
液晶屏
LCD屏幕将允许触摸开关发电机的开关和调整所需的功率。
远程控制
该仪器配有4-20mA/0-10VDC远程控制输入,允许通过外部信号进行精确的设备控制。
设计
紧凑和高效的臭氧发生器
Micro臭氧发生器产生高达16克/小时的臭氧,尺寸为127*127*355.6mm,体积小,适合集成到ALD设备中。
革命性的小规模臭氧生成:
臭氧发生器Micro16是一个多功能和强大的臭氧发生器非常适合小型项目,如实验室或大学研究,以及水和空气处理应用。
多才多艺的创新:
这种小巧轻便的设备设计便于使用,是在空间有限的工业和研究环境中进行试点测试的理想选择。其直观的界面使其易于设置,确保您可以在几分钟内快速开始您的项目。
参数
臭氧产量:15 g/h
标称工作压力:20 psig
浓度(O3 重量百分比):5-10%,
标称工作气体流量:0.1 – 4 SLPM
尺寸:127*127*355.6mm
工作环境条件
将臭氧发生器放置在通风良好且不受天气影响的区域
控制电源要求
230 V ~ ±10%,50/60 Hz
最大功耗:200 W
物理连接
氧气入口:1/4英寸世伟洛克
臭氧气体管道出口:1/4 英寸不锈钢世伟洛克
臭氧产量:15 g/h
标称工作压力:20 psig
浓度(O3 重量百分比):5-10%,
标称工作气体流量:0.1 – 4 SLPM


臭氧发生器覆盖半导体级高浓度机型,含 B20 高浓度臭氧发生检测系统、ALD 用液态超纯臭氧发生器、高浓度板式臭氧发生器与 Apex H30、EXT-10 等型号,纯度与浓度可按工艺要求配置。
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臭氧气体分析仪采用紫外吸收法测量气相臭氧浓度,覆盖国产高浓度紫外机型、德国 BMT 965ST 高浓度臭氧分析仪与 API Model 465H 等,可在线连续监测并输出信号。
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臭氧水发生器用于制备高浓度溶解臭氧水,适用于半导体晶圆清洗、科研实验与表面处理场景,出水浓度可按工艺要求标定并可配套在线溶解臭氧分析仪。
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溶解臭氧分析仪用于水中臭氧浓度的在线连续测量,含 EL-700A/E 型与半导体用高浓度臭氧水浓度检测仪(紫外法),适用于臭氧水制备与清洗工艺的过程监控。
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