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臭氧发生器

臭氧发生器

Product Detail
Micro 15 ALD用臭氧发生器
Micro 15 ALD用臭氧发生器
Micro 15 ALD用臭氧发生器
臭氧发生器

Micro 15 ALD用臭氧发生器

Micro臭氧发生器产生高达15克/小时的臭氧,尺寸为127*127*355.6mm,体积小,适合集成到ALD设备中。
产品系列臭氧发生器
应用工艺ALD / PLD / MBE / CVD
技术支持王经理 13021216681
咨询电话010-82461830

Micro 15 ALD用臭氧发生器(图1)

优点

iOzone™诊断/控制系统

旨在防止安装或使用问题,如不正确的气体压力,高环境温度,回水,接线/电压问题等。

液晶屏

LCD屏幕将允许触摸开关发电机的开关和调整所需的功率。

远程控制

该仪器配有4-20mA/0-10VDC远程控制输入,允许通过外部信号进行精确的设备控制。


设计

紧凑和高效的臭氧发生器

Micro臭氧发生器产生高达16克/小时的臭氧,尺寸为127*127*355.6mm,体积小,适合集成到ALD设备中。

革命性的小规模臭氧生成:

臭氧发生器Micro16是一个多功能和强大的臭氧发生器非常适合小型项目,如实验室或大学研究,以及水和空气处理应用。

多才多艺的创新:

这种小巧轻便的设备设计便于使用,是在空间有限的工业和研究环境中进行试点测试的理想选择。其直观的界面使其易于设置,确保您可以在几分钟内快速开始您的项目。


参数

臭氧产量:15 g/h

标称工作压力:20 psig

浓度(O3 重量百分比):5-10%,

标称工作气体流量:0.1 – 4 SLPM

尺寸:127*127*355.6mm

工作环境条件

将臭氧发生器放置在通风良好且不受天气影响的区域

控制电源要求

230 V ~ ±10%,50/60 Hz

最大功耗:200 W

物理连接

氧气入口:1/4英寸世伟洛克

臭氧气体管道出口:1/4 英寸不锈钢世伟洛克


臭氧产量:15 g/h

标称工作压力:20 psig

浓度(O3 重量百分比):5-10%,

标称工作气体流量:0.1 – 4 SLPM

Micro 15 ALD用臭氧发生器(图1)


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