UV光刻车间臭氧消除净化器
3S-W 系列臭氧消除净化器主要用途是光刻车间臭氧消除、臭氧尾气分解等。
工作原理：臭氧气体和潮湿的空气被离心风机负压吸入反应室，通过温控器调节温度，臭氧气体先进行预热，再进入电加热室进行加热分解，随后从反应室排出，还原为空气。臭氧消除率达99%以上。
3S-W 系列臭氧毁灭器是北京同林的创新产品，具有体积小、功耗低、寿命长、效果好等特点。主要用途是消除臭氧。在实际使用时，经该产品处理过的臭氧尾气，完全符合国家规定的空气污染指标。同时，该产品处理臭氧的效果不受潮湿气体和水分的影响，绝不需要“再生”处理，这是使用催化剂、分子筛、活性碳等填料的臭氧毁灭器无法做到的。
注：由于臭氧气体具有强氧化性，除可能对某些物品造成损坏外，还会污染环境，刺激人的呼吸系统，对人体健康不利，所以国内外都对空气中的臭氧指标都加以限制。我国政府规定，空气中的臭氧浓度，作业场所不得超过 0.2ppm，生活场所不得超过 0.15ppm。
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产品参数
品牌：同林
型号：3S-W3-W4
臭氧处理量：50-200m3/H
毁灭率：99.5%
工作温度：100℃
使用电源：3*380V
功率：3-6KW
鼓风机功率：1.5-2.2KW
臭氧进口：DN50-0.6M 法兰
空气出口：DN50-0.6M 法兰
电源线：5*1.5mm2
外形尺寸：500*5500*1200 W4=750*500*170
重量：45-65kg
形式：移动式
特点
1、智能型温度控制
2、毁灭率高
3、独有的防干烧设计
4、催化加热复合型
控制面板说明：
(1)、1--温度控制器：显示/设置毁灭室内部的工作温度
(2)、2--待机灯
(3)、3--工作灯
(4)、4--加热灯：内部发热装置工作灯；
(5)、5--真空泵过载灯：，加风机型有此功能
(6)、6--本地/远程开关：控制机器的运行/停止；
机器侧面接口说明：
(1)、7--信号端口：方便远程控制信号线等由该口进入机器内部端子接线。
(2)、8--真空泵电源端口，风机型出厂时已经接好。
(3)、9--散热发扇
(4)、10--电源输入
(5)、11--真空表：用来观察真空泵吸力的大小；
(6)、12--泄压阀：该阀是用来保护真空泵，防止真空泵过载。
(7)、13--尾气输入口
(8)、14--尾气输出口：臭氧尾气经过加热催化分解后，由该口输出；风机型该口接真空泵吸气口！
(9)、15--真空泵输出口/尾气输出口
臭氧发生器覆盖半导体级高浓度机型，含 B20 高浓度臭氧发生检测系统、ALD 用液态超纯臭氧发生器、高浓度板式臭氧发生器与 Apex H30、EXT-10 等型号，纯度与浓度可按工艺要求配置。
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臭氧气体分析仪采用紫外吸收法测量气相臭氧浓度，覆盖国产高浓度紫外机型、德国 BMT 965ST 高浓度臭氧分析仪与 API Model 465H 等，可在线连续监测并输出信号。
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臭氧水发生器用于制备高浓度溶解臭氧水，适用于半导体晶圆清洗、科研实验与表面处理场景，出水浓度可按工艺要求标定并可配套在线溶解臭氧分析仪。
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溶解臭氧分析仪用于水中臭氧浓度的在线连续测量，含 EL-700A/E 型与半导体用高浓度臭氧水浓度检测仪（紫外法），适用于臭氧水制备与清洗工艺的过程监控。
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