设备名称：ALD专用臭氧发生器

应用：ALD、PLD、MBE、半导体、科研专用

设备型号：3S-T10 型

设备尺寸：350*220*600mm

设备功率：180W

臭氧产量：氧气源≤10g/h（气量0.05-5L/min）

臭氧浓度：氧气源：20-120mg/L。

设备重量：13kg

安装方式：落地

环境温度：温度0~35度

环境湿度：≤80%

冷却方式：风冷

1.设备采用第八代HYE智能电晕放电臭氧发生技术，使用智能钛金纳米石英材料，温度低，浓度高，耐高压、耐潮湿，抗腐蚀性强。产品可以在不同环境条件下稳定工作。

2.模块化电路，体积小；防回水设计，回水不烧毁，更安全。

3.设备元器件和管道等采用抗氧化器件，耐氧化，工作寿命长。

4.采用空气/氧气两用型气源，应用更广泛。

5.多级风冷冷却，可连续稳定工作。

6.主机箱体不锈钢。

7.内置高压气泵，可提供稳定的空气气源输出。

8.采用同林电源，杜绝湿度影响，大大延长设备寿命。

9.臭氧浓度无极可调，可根据实际情况自由调节臭氧浓度，可选（10*10刻度转盘）。

10.可选：数字电流表准确显示电流示数。