机架式高浓度板式臭氧发生器（MBE、半导体、科研用）
特征
(1) 体积小巧，更高可产生 200g/m3 浓度。
(2)一种智能车载控制和诊断系统
所有的绝对臭氧臭氧发生器。这项新技术在显示屏上提供提示，使操作员能够轻松方便地监控大多数操作参数，包括温度，压力，电压等，所有这些都在方便的触摸屏5英寸液晶显示屏上。
此外，控制系统的设计是在电压波动(在范围内)保持恒定的臭氧产生，自动调节功率以适应不同或波动的压力，如果在高温或高温环境中工作，则自动降低功率。
名称：高浓度板式臭氧发生器
型号：Prime H32
臭氧产量： 32 克/小时
标称工作压力： 20 psig（可定制100psi）
浓度（重量百分比 O3）： 22%，
标称工作气体流量： 0.1 – 4 SLPM
环境工作条件
将臭氧发生器放置在通风良好的区域，不受天气因素的影响
控制电源要求
4.0 A 230 V ~ ±10%， 50/60 Hz， 单相， 2.0 A
最大功耗：350 W
物理连接
氧气入口：1/4Swagelok
管道出口：1/4Swagelok
臭氧发生器覆盖半导体级高浓度机型，含 B20 高浓度臭氧发生检测系统、ALD 用液态超纯臭氧发生器、高浓度板式臭氧发生器与 Apex H30、EXT-10 等型号，纯度与浓度可按工艺要求配置。
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臭氧气体分析仪采用紫外吸收法测量气相臭氧浓度，覆盖国产高浓度紫外机型、德国 BMT 965ST 高浓度臭氧分析仪与 API Model 465H 等，可在线连续监测并输出信号。
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臭氧水发生器用于制备高浓度溶解臭氧水，适用于半导体晶圆清洗、科研实验与表面处理场景，出水浓度可按工艺要求标定并可配套在线溶解臭氧分析仪。
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溶解臭氧分析仪用于水中臭氧浓度的在线连续测量，含 EL-700A/E 型与半导体用高浓度臭氧水浓度检测仪（紫外法），适用于臭氧水制备与清洗工艺的过程监控。
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