某科学院用于原子层沉积（ALD）领域

当前所使用的设备为Atlas H30臭氧发生器与3S - J5000臭氧检测仪。在实际应用中，臭氧浓度能够超过200mg/L 。其中，Atlas H30臭氧发生器主要应用于原子层沉积（ALD）领域。自投入使用后，凭借其稳定的性能及高效的臭氧产生能力，获得了用户的良好反馈。3S - J5000臭氧检测仪则为精准监测臭氧浓度提供保障，确保整个ALD过程在合适的臭氧浓度环境下进行，两者协同工作，为相关工作的开展提供了有力支持。