超纯高浓度臭氧发生器特点？

1.超纯臭氧是高浓度、高纯度臭氧气体，臭氧气体浓度在80%以上。而普通臭氧发生器的臭氧的浓度约为10%

2.在减压（10,000Pa以下）下安全使用臭氧，普通臭氧发生器在同等大气压力下不能使用

3.用作真空工艺的氧化源、自由基发生源，表面改性、连接预处理、压焊、ALD成膜等，不需要UV，水

4.常温~150℃下80%以上的臭氧可长寿命使用。

◆可安全连续供应纯臭氧

◆停电、异常时，通过调冷系统进行温度/压力控制

◆搭载停电时的聚急脉冲机构

◆符合国际安全标准SEMI-S2、UL、NFPA、CE等

◆交货时在当地进行操作培训

◆交货后会进行维护