原子层沉积或类似基质处理项目臭氧发生器如何选择

原子层沉积或类似基质处理项目臭氧发生器如何选择

       前段时间，一家半导体制造商向我们提出了一个担忧。他们解释说，他们目前的臭氧发生器不足以有效处理其基质，导致过程漫长，并且需要更大的臭氧发生器。我们为所有客户的应用提供免费和无限制的支持，因此为了更好地了解这个问题，我们问了客户两个问题：他们的臭氧发生器有多大？他们使用什么类型的臭氧发生器？我们惊讶地得知他们有一台 30 克/小时的臭氧发生器，并有兴趣购买一台 60 克/小时的发生器。此外，它们的臭氧浓度仅为3%wt，反应室的体积仅为1升。

在ALD（原子层沉积）应用行业中，我们的任务是简单地将他们的注意力吸引到问题的根本原因上，即在任何给定时间，他们的反应室中可能存在的臭氧量。需要注意的关键点是，臭氧量越大，它们的反应进行得越快。浓度为 3%wt.（相当于 43.3 g/Nm3），它们在任何给定时刻的腔室内只能有 0.0433 克臭氧（通过将 43.3 克除以 1000 升获得）。然而，通过利用能够产生15%wt.（225.4 g/Nm3）臭氧的臭氧发生器，它们可以在反应室内达到约0.225 g的浓度，比以前高出五倍。

一般来说，臭氧反应是线性的。因此，增加浓度可以减少暴露时间，并且仍然可以获得相同的效果。总之，只需选择高性能的 30 g/h 臭氧发生器，例如 H30，其浓度可以达到 ~20%wt，可以将该过程加快五倍。此外，假设他们使用小型缓冲蓄能器罐。在这种情况下，他们可以立即将臭氧注入反应室，并且由于反应时间如此之快，他们的真空泵将不得不减少五倍的工作。

由于臭氧浓度导致的速度或反应和过程有效性存在如此大的差异，我们仍然看到许多客户购买不适合 ALD 应用的臭氧发生器。实际上，它只提供 3-5% 而不是广告宣传的 8-12%wt.（请确保制造商为您提供实际的发电机性能图表并保证臭氧浓度）。同时，我们总是乐于协助客户解决有关臭氧应用的问题，并协助臭氧发生器的尺寸或选择。