半导体用高浓度高流量臭氧发生器投入使用

3S-B20高浓度臭氧发生器，浓度高达 20 wt% （300g/m3)，流量范围 0.1 至 20 slm，业界风冷高浓度臭氧发生器，控制包括臭氧浓度控制，集成过程臭氧检测，质量流量控制,压力控制，紧急关停等，确保在工艺中稳定运行。

技术参数

臭氧产量：15-200 g/hr（取决于配置）

工作压力：20-80psi（取决于配置）

臭氧浓度：0.5L/min@300mg/L高达 20 wt%

冷却：风冷

检测系统，过程臭氧检测（0-300mg/L）

气源：氧气

气体流速：0.1-20SLM（取决于配置）

工作温度0-40℃

控制界面：触屏操作，4-20mA远程控制

重量：50kg

电源：220V 50/60HZ

功率：380W

接头：1/4 VCR接头