半导体用高浓度高流量臭氧发生器投入使用

3S-B20高浓度臭氧发生器,浓度高达 20 wt% (300g/m3),流量范围 0.1 至 20 slm,业界风冷高浓度臭氧发生器,控制包括臭氧浓度控制,集成过程臭氧检测,质量流量控制,压力控制,紧急关停等,确保在工艺中稳定运行。
技术参数
臭氧产量:15-200 g/hr(取决于配置)
工作压力:20-80psi(取决于配置)
臭氧浓度:0.5L/min@300mg/L高达 20 wt%
冷却:风冷
检测系统,过程臭氧检测(0-300mg/L)
气源:氧气
气体流速:0.1-20SLM(取决于配置)
工作温度0-40℃
控制界面:触屏操作,4-20mA远程控制
重量:50kg
电源:220V 50/60HZ
功率:380W
接头:1/4 VCR接头