ALD集成专用：NANO15高浓度臭氧发生器如何使用

NANO15高浓度臭氧发生器是加拿大Absolute Ozone® 的一款旗舰产品，北京同林是其在中国的总代理商。NANO15臭氧发生器臭氧产量15g/h，体积小、智能化，触屏操作，臭氧浓度高，常用在ALD行业，可以集成在设备中。操作界面简单，提供4-20mA信号输入，可通过PLC进行控制。