半导体蚀刻选择性地从基板上的薄膜中去除材料,以在基板上创建该材料的图案,这是半导体器件制造工艺的关键部分,其中高度选择性的蚀刻可确保半导体芯片的质量和产量。
MKS用于增强半导体刻蚀加工的解决方案包括真空,压力和流量测量与控制,等离子体和发电,臭氧输送和过程自动化。
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