MKS提供各种臭氧发生器和模块化输送系统，可产生超纯，可靠的臭氧气体。在清洁的半导体环境中，臭氧与各种前体气体发生反应，产生Al2O3，ZrO2，HfO2和La2O3金属氧化物，以实现薄膜沉积工艺，如原子层沉积（ALD）和蚀刻（ALE）。MKS 的发生器使用 6 级气体，能够产生更高的薄膜密度，从而提高产品产量。光伏和显示器制造利用半导体更佳实践，利用臭氧创造增强的薄膜屏障，提高产品性能和可靠性。
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第一时间了解我们的新产品发布和最新的资讯文章。 北京同林科技有限公司是一家是提供高纯高浓度臭氧发生器系统服务商，目前产品包括半导体用高浓度臭氧发生器、臭氧气体分析仪、溶解臭氧分析仪、臭氧水机、半导体用管道和接头等。 已经应用于众多半导体企... 您有什么问题或要求吗？
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