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高浓度臭氧发生器用于PLD现场

高浓度臭氧发生器用于PLD现场

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高浓度臭氧发生器在PLD(脉冲激光沉积)可以用作氧化剂,用于氧化金属目标,从而实现氧化物薄膜的沉积。在PLD过程中,臭氧通常用于改变目标材料的化学性质,形成氧化物薄膜或复合薄膜,具有广泛的应用。

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