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中科院某所用于氧化物生长研究

中科院某所用于氧化物生长研究

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臭氧在氧化物生长研究中发挥了重要作用,其作为强氧化剂的特性使其在原子层沉积、化学气相沉积以及表面改性等方面表现出色。通过优化臭氧的使用,可以显著提升氧化物薄膜的质量和性能。尽管臭氧的使用有其挑战,但通过严格的安全措施和环境管理,可以充分发挥其在科学研究和工业应用中的优势

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